Micro-Epsilon Japan株式会社が提供する距離測定器は、世界最高水準の直線性を持った白色干渉方式の測長器です。高精度で安定した計測が可能であり、プローブは1nmの分解能を持ち、最大6kHzの高速計測が可能。スポット径10umの極小範囲内での計測が可能で、プロファイルの計測も対応しています。アナログやデジタルの外部同期インターフェースにも対応しており、装置搭載に最適。