製品概要
企業情報
ピー・エス・シー株式会社
製品概要ピー・エス・シー株式会社のノズルフラッパ型空気圧サーボ弁は、比較的小さな流量を高応答で制御できる小型・軽量なサーボバルブです。摺動部分がなく、高い分解能と高速応答を実現し、主に半導体製造設備や除振装置に使用されています。さらに、負圧での制御も可能な構造も採用。音速流れを減じることにより、出力ノイズの少ない安定した絞りも実現しています。
ピー・エス・シー株式会社
ピー・エス・シー株式会社のノズルフラッパ型空気圧サーボ弁は、比較的小さな流量を高応答で制御できる小型・軽量なサーボバルブです。摺動部分がなく、高い分解能と高速応答を実現し、主に半導体製造設備や除振装置に使用されています。さらに、負圧での制御も可能な構造も採用。音速流れを減じることにより、出力ノイズの少ない安定した絞りも実現しています。
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