製品概要
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テクノアルファ株式会社
製品概要Fluke Process Instrumentsの薄膜プロセス・真空プロセス専用の温度測定システムは、成膜装置内での温度測定に特化した製品です。耐熱ケースとBluetooth機能により、リアルタイムモニタリングも可能です。使用する成膜装置の種類に制約なく温度を測定し、TCOの削減・ダウンタイムの最小化を実現します。
テクノアルファ株式会社
Fluke Process Instrumentsの薄膜プロセス・真空プロセス専用の温度測定システムは、成膜装置内での温度測定に特化した製品です。耐熱ケースとBluetooth機能により、リアルタイムモニタリングも可能です。使用する成膜装置の種類に制約なく温度を測定し、TCOの削減・ダウンタイムの最小化を実現します。
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