静電チャック用プロセステープは、優れた導電性能・耐薬品性能・耐熱性能を備えています。当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用。ガラスウェハーやガラスサポートウェハーに貼ることで低電圧での静電チャックが可能であり、MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウェハーで使用することができます。さらに、200℃以上の耐熱性や耐薬品性を有しているため、ウェハー表面保護用途にも適しており、静電気対策を必要とする産業分野において、静電チャック用プロセステープは信頼性と効果の高い解決策となります。