SDKが取り扱う『アクティブコントローラー』は、セラミックヒーターやペルチェをソケットに搭載し、サーマルコントロールを行うことが可能です。3DCADを用いた簡易的な熱流体や応力解析も実施可能で、ソケット以外の周辺治具も製作することができます。
SDKが取り扱う『アクティブコントローラー』は、セラミックヒーターやペルチェをソケットに搭載し、サーマルコントロールを行うことが可能です。3DCADを用いた簡易的な熱流体や応力解析も実施可能で、ソケット以外の周辺治具も製作することができます。
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