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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
TEM-200シリーズ
高精度のガスフィルター、GasPro PTFE ガスフィルター TEM-200シリーズ
TEM-200シリーズ
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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-200シリーズは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに対応した高性能なインラインガスフィルターです。ろ過精度は0.003ミクロンで、電解研磨された溶接ハウジングとPTFEメンブレンで構成。清浄度を確保するために窒素でパージされています。様々な接続タイプが用意され、取り付けも容易です。お問い合わせはリンク先からどうぞ。

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高精度のガスフィルター、GasPro PTFE ガスフィルター TEM-200シリーズ
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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-200シリーズは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに対応した高性能なインラインガスフィルターです。ろ過精度は0.003ミクロンで、電解研磨された溶接ハウジングとPTFEメンブレンで構成。清浄度を確保するために窒素でパージされています。様々な接続タイプが用意され、取り付けも容易です。お問い合わせはリンク先からどうぞ。

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